외부 소스 히터가 AutoSpec 1에서 작동하지 않음 - WKB80051
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증상
- 소스 온도 리드백이 설정 온도에 도달하지 않습니다.
- 히터 켜짐이 요청되었을 때 외부 소스의 "표시등"이 켜지지 않습니다. 설정 값이 리드백보다 높습니다.
환경
- AutoSpec Premier
- AutoSpec
- MassLynx
원인
하나 또는 두 소스 히터에 문제가 있습니다.
수정 또는 해결 방법
- 소스 및 분석기 이온 게이지가 켜져 있고 소스 진공을 올바르게 읽는지 확인합니다.
- 소스 온도를 높은 값으로 설정합니다(예: 280°C).
- 외부 소스 어셈블리 블록의 한 쪽에서 빛이 방출되는지 확인합니다.
- Telnet 창을 열고 3481200DC1-S Source Control PCB 리드백을 검사합니다.
- Windows Start/Run 메뉴에서 Telnet 창을 엽니다.
- Run open 대화 상자에 "Telnet EPC"를 입력하여 Telnet 창을 시작하고 엽니다.
- Telnet 프롬프트에 "rmm"을 입력합니다(rioMainMenu의 경우 모두 소문자 사용).
- "3"을 지정하여 하위 시스템에 액세스하고, "4"를 지정하여 3481200DC1-S Source Control PCB에 액세스한 다음 "3"을 지정하여 소스 컨트롤 PCB 리드백의 스냅샷을 표시합니다.
- 소스 온도를 리드백보다 높은 온도로 설정하고 Telnet 창에 "3"을 입력하여 히터가 켜져 있어야 할 리드백을 나열합니다.
- 작동하는 소스 히터에는 다음이 표시됩니다.
- 1503. SourceHeaterVoltageRb 7.254902(실제 값은 설정 온도와 리드백 사이의 온도 차이에 따라 다를 수 있음)
- 개방 회로 소스 히터에는 다음이 표시됩니다.
- 1503. SourceHeaterVoltageRb 24.xxx
- 작동하는 소스 히터에는 다음이 표시됩니다.
- 소스를 0으로 설정하고 Telnet 창에 "3"을 입력하여 히터가 꺼져 있을 때의 리드백을 나열합니다.
- 작동하는 소스 히터에는 다음이 표시됩니다.
- 1503. SourceHeaterVoltageRb 0.xxx
- 작동하는 소스 히터에는 다음이 표시됩니다.
- 위의 리드백은 전기에 의해 작동하는 3481200DC1-S Source Control PCB를 보여줍니다. 이는 개방 회로 소스 히터를 나타냅니다.
- -> 프롬프트가 나타날 때까지 Telnet 상자에 "999"를 반복해서 입력합니다.
- Telnet 창을 닫습니다.
- 표준 시스템 작동 절차에 따라 소스 영역을 배기(Vent)하고 외부 소스 어셈블리를 분리합니다.
- 저항 측정으로 설정된 디지털 전압계(스케일이 수동으로 설정된 경우 0 ~ 10Ω)를 사용하여 미터 리드의 단락 저항을 테스트합니다.
- 테스트 리드를의 총 저항을 확인합니다. 예상 값은 0 ~ 0.5Ω입니다.
- 판독값이 높을 경우 새 테스트 리드나 대체 디지털 전압계를 사용해보십시오.
- 회로는 Outer Source technical reference(외부 소스 기술 참조)에 따라 외부 소스 히터 회로를 통과하는 저항을 측정합니다.
- 왼쪽 컨택 레일(contact rail)에서 핀 7 ~ 8 사이의 저항을 측정합니다.
- 0.5 ~ 1.5Ω의 저항이 필요합니다.
- 높은 회로 저항이나 개방 회로 저항이 측정된 경우, 히터 중 하나 또는 둘 모두에 오류가 발생하여 교체해야 합니다.
- 두 히터를 동시에 교체하는 것이 좋습니다. M702867AD1 - Source Heater를 주문하십시오.
- 절연/터미널 연결 끝의 히터 연결부에 단락이 없는지 확인합니다.
- 위와 같이 반복 저항 측정으로 빌드를 완료하고 이온 블록과 Focus 1 렌즈 플레이트 사이의 저항을 측정합니다.
- 개방형 회로, 무한 저항을 기대합니다.
- 낮은 저항이나 단락이 측정되는 경우, 이온 블록과 Focus 1 렌즈 사이의 필라멘트 실드가 단락되었는지 확인합니다.