AutoSpec에 필라멘트 전류가 없으면 이온 빔은 없지만 트랩이 정상적으로 조절되는 것으로 나타남 - WKB20704

증상

• 빔이 없습니다.
• 필라멘트 또는 방출 전류 리드백 없습니다.
• 필라멘트가 꺼지고 빛을 발하지 않습니다.
• 그러나 트랩 전류 리드백은 요청된 설정 값을 표시합니다.
  • Set-Point를 새 값으로 변경하면 리드백이 해당 값으로 변경되며, 필라멘트 자체는 전류 또는 방출 전류가 흐르지 않고 꺼진 상태로 유지되며 리드백은 0입니다.
• 필라멘트/트랩의 기능은 가속 전압을 0으로 설정하거나 소스 장치의 전원을 껐다가 켜면 일시적으로 복구될 수 있습니다.

환경

• AutoSpec Ultima(M)
• AutoSpec Premier(P)

원인

트랩과 이온 블록이 단락되었습니다.

수정 또는 해결 방법

작동 수동 지침에 따라 내부 소스를 세척하고 재조립합니다. 트랩 주변에 느슨한 연결부나 이물질이 있는지 확인합니다.

추가 정보

참고: 트랩 전류는 일반적으로 필라멘트에서 트랩으로 내부 소스를 통과하는 전자의 흐름입니다.

필라멘트에 전류가 흐르지 않고 필라멘트가 꺼진 것으로 표시되기 때문에 소스를 통해 트랩으로 전자가 "실제"로 흐르지 않을 수 있습니다. 필라멘트에 전류가 흐르지 않으면 순 트랩 전류가 있을 수 없으며 리드백은 0으로 표시됩니다.

관련 문서 WKB8643, WKB11064, WKB96181, WKB124360 및 WKB124362를 참조하십시오.

WKB62609에서 필라멘트 컨디셔닝 방법을, WKB62805에서 사용수명을 늘리는 팁을 알아보세요.