ACQUITY UPC2 니들 손상 및 Zp축 오류 - WKB49123
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증상
- 니들 손상
- Zp축 오류
- 단계 손실 및 니들 손상
환경
- ACQUITY UPC2
원인
RZZ 메커니즘 오류
추가 정보
id49123, UPC2BSM, UPC2CMA, UPC2CNVMGR, UPC2SMFL, Z-Axis, Zp-Axis
RZZ 메커니즘 오류
id49123, UPC2BSM, UPC2CMA, UPC2CNVMGR, UPC2SMFL, Z-Axis, Zp-Axis