정전 후 Ebara 보조 펌프를 시작할 수 없음 - WKB97862

증상

• 정전 후 기기를 펌프 중단할 수 없습니다.

• Pump를 누른 후 터보 분자 펌프의 속도가 빨라지지만 Ebara 펌프가 멈춘 것 같습니다.

• Ebara 디스플레이에 오류 코드가 표시될 수 있습니다(Err).

환경

• Ebara

• Vion

• Xevo TQ-XS

• Xevo TQ-S

원인

Ebara 펌프가 정전으로 인한 오류 상태에 있습니다.

수정 또는 해결 방법

1. Ebara 펌프를 끕니다.
2. 5분간 기다립니다.
3. Ebara 펌프를 켭니다. Ebara 펌프의 디스플레이를 확인합니다. "n5500"이 표시됩니다.

4. 평소대로 기기를 펌핑합니다.

추가 정보

Ebara 펌프를 다시 시작하는 동안 MS 기기 electronic(전자 기기)를 재부팅할 필요가 없습니다.