이온 빔 없음, GCT에서 전자 에너지는 0임 - WKB9749

증상

• 빔이 없음
• 이온 에너지 리드백 = 0
• 트랩 전류 리드백 = 0
• 최대 방출 전류 리드백 값(일반적으로 = 5000µA)

환경

• GCT Classic
• GCT Premier

원인

내부 소스 EI 필라멘트의 실드가 내부 소스 이온 블록 또는 외부 이온챔버와 단락되었습니다.

수정 또는 해결 방법

1. 배기하고 내부 소스를 분리합니다.
2. 접지로의 단락이 발생한 위치를 조사하고 수정합니다.

• 필라멘트 실드가 왜곡되었는지 확인합니다. 그러할 경우 교체합니다.
• 이온 출구 슬릿이 필라멘트 실드를 향해 다시 구부러졌는지 확인합니다. 필요할 경우 출구 슬릿을 바르게 폅니다.
• 자석 캡이 외부 소스에서 미끄러졌는지 확인합니다. 필요한 경우 캡을 다시 밀어 넣습니다.

3. 내부 소스를 교체하고 펌프 중단을 수행하고 이온 빔을 확인합니다.

추가 정보

Operate 모드에서 필라멘트 실드는 필라멘트에 의해 가열될 때 변형될 수 있습니다. 이러한 왜곡은 Operate 모드에서 내부 소스가 냉각되었을 때 존재하지 않는 단락을 만들기에 충분할 수 있습니다. 이런 이유로 피드 스루에서 접지까지 필라멘트 연속성을 측정할 때 항상 문제가 발견되는 것은 아닙니다.

필라멘트 컨디셔닝에 관한 내용은 WKB62609를 참조하십시오.

관련 문제에 대해서는 WKB11064, WKB124360, WKB124362를 참조하십시오.