진공 오류가 발생한 후 ZQ/ Quattro Micro가 펌핑 다운되지 않음 - WKB96370

증상

• 진공 오류(예: 로터리 펌프 장애)로 인해 ZQ/Quattro Micro가 배기되고 기기에 빨간색 진공 표시등이 계속 켜져 있습니다.
• 튠(Tune) 페이지에 "Vented" 상태가 표시되지만 시스템이 펌프 명령에 응답하지 않습니다.
• 기기의 전원을 껐다가 켜면 시스템이 펌핑 다운되지만, 진공 압력과 터보 속도가 정상인 경우에도 튠(Tune) 페이지에 "Vented" 상태가 표시됩니다.
• VacOK 시그널이 존재하지 않아 시스템이 Operate 모드로 전환됩니다.

환경

• ZQ/Quattro Micro

원인

진공 오류로 인해 기기 electronic(전자 기기) 및 MassLynx 소프트웨어에서 중단이 발생하며, 이는 기기를 재부팅해도 해결되지 않습니다.

수정 또는 해결 방법

1. MassLynx 소프트웨어를 닫고 수집 PC를 재부팅하여 소프트웨어 오류를 해결합니다.
2. 기기의 전원을 껐다가 켜고 EPC가 완전히 재부팅될 때까지 기다립니다. (ping EPC-t 및 telnet EPC 명령을 사용하여 부팅 주기를 모니터링합니다.)
3. MassLynx 소프트웨어를 엽니다. 이제 Pirani 압력과 터보 속도가 올바른 범위에 들어가면 시스템이 만족스럽게 펌핑 다운되고 "Vacuum OK" 상태가 표시됩니다.

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