정전 후 Ebara 펌프가 펌프 중단 되지 않습니다. 오류 "Uu1" - WKB95190

증상

• 계획되지 않은 정전 발생 시 기기가 배기됩니다
• Ebara 전면 패널에 오류 코드 "Uu1"이 표시되어 저전압 상태를 나타냅니다
• 기기와 PC가 다시 시작되었습니다
• 전체 기기 통신이 설정되었습니다

환경

• Select Series Cyclic IMS QTof
• Xevo TQ-XS
• Ebara EV-SA30 펌프

원인

Ebara 펌프의 래치 오류 코드

수정 또는 해결 방법

1. Ebara 펌프의 주 전원을 10분 동안 차단합니다.
2. 주 전원을 다시 연결합니다.
3. 기기를 펌핑합니다.
4. 기기가 제대로 펌핑되는지 확인합니다.

추가 정보