ACQUITY QDa 질량검출기에 낮은 Turbo 파워 오류 메시지 표시됨 - wkb7110

증상

• Turbo 파워 리드백은 35 ~ 37W입니다.
• 심각한 리드백 오류
• 낮은 Turbo 파워 오류 메시지
• 애퍼처 캐리어와 디스크 교체 시 Turbo 파워 리드백에 차이가 없습니다.

환경

• ACQUITY QDa 질량검출기

원인

진공 상태가 너무 좋으며 진공 레벨을 유지하는 데 필요한 Turbo 파워가 낮습니다. 전원 리드백이 37 이하일 경우, 오류 메시지가 나타납니다.

수정 또는 해결 방법

1. "low turbo power" 오류를 해결하기 위해 health monitor 검사를 비활성화합니다.
2. "critical readback check" 및 "critical readback check failed"에 대한 health monitor 검사를 비활성화합니다.
3. QDa의 전원을 끄고 5분 동안 꺼진 상태로 둡니다.
4. 전원을 다시 켭니다.
5. 기기가 감도 스펙을 충족하는지 확인합니다.

추가 정보

이 오류 메시지는 ML 및 Empower 운영 시스템 모두에 존재합니다. 이 오류 메시지는 diff 애퍼처 영역의 막힘을 알리기 위한 것입니다. Turbo 리드백이 30초보다 낮은 값을 가질 경우, 막힘 현상이 발생할 가능성이 높습니다. Seal의 디자인이 개선되었기 때문에 이제 40초보다 낮고 및 30초보다 높은 Turbo 파워를 가진 기기가 추가로 보급됩니다.

기기 감도가 스펙을 충족하는 경우 이 해결 방법을 실행하는 데 문제가 없습니다.

업데이트된 진공 사양 한계는 추후에 포함될 예정입니다.