SQ 검출기 2가 소스 압력 테스트에 실패함 - WKB66909

증상

• 소스 압력 테스트 실패
• 진공 펌프 오일을 교체하기 위해 시스템을 배기함
• 시스템 펌프 다운, 터보 속도 100%
• 테스트를 다시 실행하기 위해 소스 하우징을 열었다 닫아도 문제가 해결되지 않음
• 최근 배출 튜빙이 분리되는 문제가 발생함
• 튜빙을 다시 연결하면 원래 문제가 해결됨
• 연결된 것으로 확인된 배출 튜빙

환경

• SQ 검출기 2

원인

배출 튜빙의 누수 또는 트랩 용기의 밸브 고장일 가능성이 있습니다.

수정 또는 해결 방법

튠(Tune) 페이지에서 Gas > Override Source Pressure Test로 이동합니다.

추가 정보

참고: 고객은 샘플을 즉시 실행할 수 있는 해결 방법을 찾고 있었습니다. 밸브, 튜빙 또는 피팅(Fitting)을 교체해야 할 수 있습니다.