UNIFI에서 RDa의 "Blocked Aperture" 오류 - WKB53240

증상

• UNIFI에서 "Blocked Aperture"(구경 디스크가 막혔음) 오류가 나타납니다.
• 역압 리드백이 1.0mbar에서 예상보다 낮습니다.

환경

• RDa 검출기

원인

구경 디스크가 막혔습니다.

수정 또는 해결 방법

1. 구경 디스크를 초음파 처리합니다.
2. 구경 디스크를 다시 설치하고 역압(일반적으로 1.4 mbar)이 정상인지 확인합니다.
3. 초음파 처리로 정상 보조 진공을 복원할 수 없는 경우(문제 해결), Aperture Disc (P/N 700012106)를 교체하십시오.
   "개요 및 유지 관리 안내서"의 3.8 섹션을 참조하십시오.

추가 정보