ACQUITY SQD2 오류: Source Pressure Exhaust Warning/Trip - WKB29632

증상

• Console에 "Source Pressure Exhaust Warning / Trip" 오류 메시지가 표시됩니다.
• MS가 Operate 모드로 전환되지 않습니다.
• Tune 페이지 리드백에는 디졸베이션 가스 흐름이 0으로 설정되고 API 질소 가스가 off로 설정된 경우에도 양수 값이 표시됩니다.

환경

• SQ Detector 2

원인

소스 압력 센서 오류

수정 또는 해결 방법

소스 압력 센서(700008947)를 교체하십시오.                                                                                                                                                             

추가 정보