"Source heater disconnected" 오류 메시지 - WKB26550
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증상
- "Source heater disconnected"(소스 히터가 분리됨)Console의 오류 메시지
- 소스 히터가 주변 온도 에 있습니다.
- 카트리지 히터에서 측정된 개방 회로
환경
- SYNAPT G2-S
- SYNAPT G2-Si
- Xevo QTof
- Xevo G2 QTof
- Xevo G2-S
- Xevo G2-S QTof
- Xevo G2-XS
- Xevo G3
- ACQUITY TQD
- Xevo TQ MS
- Xevo TQD
- Xevo TQ-S
- Xevo TQ-S cronos
- Xevo TQ-S micro
- Xevo TQ-XS
- Vion IMS QTof
원인
카트리지 히터 결함
수정 또는 해결 방법
- 기기를 "대기"로 전환합니다.
- 기기를 vacuum pump override 로 전환합니다.
- 기기 전자 기기를 끕니다.
- 이온 블록 덮개를 분리하고 카트리지 히터를 교체합니다.
- 기기 전자 기기를 다시 켜고 EPC가 부팅될 때까지 기다립니다.
- 소스 히터가 제대로 가열되는지 확인합니다.
추가 정보
StepWave 기기용 카트리지 히터: 700005347 - CARTRIDGE HEATER FOR CERAMIC BLOCK
Xevo QTof 및 Xevo TQ MS용 카트리지 히터: 700004332
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