QDa 기기가 진공에 도달하기 위해 여러 번 시도함 - WKB1958

증상

• QDa가 초기 전원을 켤 때 펌프 다운되지 않습니다.
• 전원을 끄고 반복하면 시스템이 펌프 다운되지만 펌프 다운 시간이 예상보다 오래 걸립니다.
• 펌프 다운 된 후 터보 파워는 안정적입니다.
• QDa 전력 리드백이 높습니다(> 70W).
• QDa 터보 속도는 50%를 초과하지 않습니다.

환경

• ACQUITY QDa(성능)

원인

일반적인 원인은 펌프에 오일이 부족하기 때문에 러핑(Roughing) 펌프가 최적의 효율로 작동하지 않기 때문입니다(오일 트랩이 꽉 찼을 수 있음). 펌프 장애로 인해 발생할 수도 있습니다.

수정 또는 해결 방법

1. 펌프를 점검하고 오일을 교체하고 누수가 없는지 확인합니다.
2. 오류가 지속될 경우 펌프를 교체해야 할 수 있습니다(700009636).

추가 정보