SQ 검출기 2에서 "Operate Trip (Low Vacuum Level)" 오류 발생 - WKB195027
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증상
- SQ 검출기 2에서 "Operate Trip (Low Vacuum Level)" 오류가 표시됩니다
환경
- SQ 검출기 2
- MassLynx
원인
샘플 콘의 O-링이 누수됩니다.
수정 또는 해결 방법
샘플 콘(cone) O-링(700004321)을 세척 또는 교체합니다.
추가 정보
id195027, A-SQ, sample cone, SQD2