Xevo TQ-XS의 "Ion Guide 2 Pressure too high" 오류 - WKB121428
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증상
- 간헐적인 오류 메시지: "Ion Guide 2 Pressure too high"
- 압력 게이지 판독값이 비교적 낮은 값인 e-2mbar 범위 내에 있습니다
- 최근 소스/샘플 콘의 유지 관리 수행
환경
- Xevo TQ-XS
원인
가스 콘 위치 블록을 올바르게 배치하는 데 사용된 Bellville 스프링 와셔가 누락되었거나 잘못 쌓였습니다
수정 또는 해결 방법
- 시스템을 배기시킵니다.
- 가스 콘 위치 블록을 분리합니다.
- 곡선형 와셔의 방향에 주의하십시오. 와셔의 배열을 결정하려면 와셔가
괄호라고 가정해 보십시오. 와셔를 다음과 같이 배열합니다: ( ) ( ) 즉 한 면당 4개씩, 총 8개의 와셔를 배열합니다. - 3단계에 설명된 대로 정렬된 Bellville 스프링 와셔로 가스 콘 위치 블록을 다시 설치합니다.
- 콘 가스 위치 블록을 고정하는 나사를 조이고 샘플 콘이 올바르게 설치되었는지 확인합니다.
- 진공 시스템이 올바르게 펌핑 중단되는지 확인합니다. 적절한 시간 동안 펌핑한 후 Ion Guide 2 진공 게이지가 5e-3mbar에 근접하는지 확인하십시오.
추가 정보
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