TQD는 진공에 도달하지 못하고, 터보 펌프 속도는 20%에 불과함 - WKB112518
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증상
- 펌핑 시스템이 타임아웃되었습니다.
- 터보 펌프 속도는 20%에 불과합니다.
- 소스 인클로저가 열리면 소스 씰(Seal)에서 액체가 누출되는 소리가 들립니다.
환경
- TQ 검출기
- SQ 검출기
원인
소스 O-링 누출
수정 또는 해결 방법
- 소스를 분해하고 PEEK 이온 블록 지지대의 O-링을 다시 설치하거나 (가능한 경우) 교체합니다.
- 소스를 다시 조립하고 진공 펌프를 시작합니다.
- 터보 속도가 100%에 도달하는지 확인합니다.
추가 정보
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