질량분석기 펌핑 다운할 수 없음 - WKB107012

증상

• MS 배기됨
• Turbo Controller Fault 오류 메시지
• 낮은 진공 오류 메시지
• 재부팅 후에도 MS가 펌프 중단되지 않습니다.
• MS를 펌핑 다운하려고 할 때 러핑(Roughing) 펌프로부터 응답이 없습니다. 
• 러핑(Roughing) 펌프 오일 수위와 점성도는 정상입니다
• 보조 제어 케이블에서 24V로 측정되었으며 정상입니다.

환경

• Xevo TQD
• SQD2
• Xevo TQ MS
• 3100 질량검출기
• Xevo G2-XS

원인

러핑(Roughing) 펌프 고장 

수정 또는 해결 방법

러핑(Roughing) 펌프 교체

• Xevo TQD/SQD2: 파트 186006347 - Leybold SV40 러핑(Roughing) 펌프
• SQD2: 파트 410003281 - Edwards XDS46i 스크롤 펌프
• Xevo TQ MS: 파트 700004717 - Varian 602 로터리 펌프
• 3100: ETSC의 리퍼브 러핑(Roughing) 펌프 소스.

추가 정보

러핑(Roughing) 펌프를 교체하기 전에 PC를 포함한 전체 시스템 재부팅을 시도했습니다. 

1. MS를 포함한 모든 모듈을 끕니다.
2. MassLynx 프로세스를 중지하고 PC를 재부팅한 다음 한 번에 하나씩 모듈을 켭니다.
3. 기기를 다시 펌프 중하기 위해 MassLynx를 열기 전에 MS가 부팅 시퀀스를 완료하도록 합니다.