ACQUITY APC 시스템이 누출 테스트에 실패함 - WKB199055

증상

• 시스템이 PM 후 누출 테스트에 실패합니다.
• 테스트 경로의 일부로 니들을 사용했을 때와 사용하지 않았을 때, 이 두 경우에 시스템은 누출 테스트에 실패합니다.

환경

• APC SM-pFTN
• APC p-ISM

원인

인라인(In-line) 2-micron 필터 어셈블리에 누출이 발생했습니다.

수정 또는 해결 방법

1. 2-micron 필터 어셈블리를 조입니다.
2. 필요한 경우 2-micron 필터 어셈블리(205000731)를 교체합니다.

추가 정보