질소 공급 탱크를 다시 채운 후 신호가 출력되지 않음 - WKB27888

증상

• 가스 흐름이 낮다는 오류 메시지
• 질소 공급 탱크 낮음
• 질소 공급 탱크 다시 채움
• 탱크를 다시 채운 후 이온 빔이 없음
• 발견: 기기의 질소 가스 흐름이 정상입니다
• 발견: 소스 분리 밸브가 열려 있습니다
• 발견: 소스 전압 리드백이 모두 정확합니다

환경

• SQ 검출기(SQD)

원인

통신 오류

수정 또는 해결 방법

1. MassLynx와 ACQUITY Console을 닫습니다.
2. StopAcquityProcesses.cmd를 실행합니다.
3. MassLynx PC를 재부팅합니다.
4. MassLynx를 시작하지 않고 Windows에 로그인합니다.
5. SQD의 재설정 버튼을 누르고 Operate 라이트가 빨간색에서 꺼짐으로 바뀔 때까지 기다립니다.
6. MassLynx를 엽니다.

추가 정보